高純電子混合氣
產(chǎn)品名稱 |
主要應(yīng)用領(lǐng)域及應(yīng)用工藝 |
所處階段 |
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集成電路 |
新型顯示 |
光伏 |
LED |
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乙硼烷混合氣 硅烷混合氣 磷烷混合氣等 |
摻雜、離子注入、沉積 |
摻雜 |
沉積 |
沉積 |
量產(chǎn) |
產(chǎn)品詢價